金属诱导晶化

作品数：27被引量：70H指数：6
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金属诱导晶化(MIC)模式非晶晶化的原位透射电子显微学研究
《电子显微学报》2024年第1期45-51,共7页向斐斐 李傲 范浩涵 林杨剑 程峰 葛炳辉 
国家自然科学基金资助项目(No.11874394);安徽省高校协同创新计划项目(No.GXXT⁃2020⁃003);安徽省教育厅重点项目(No.2022AH050116).
非晶晶化作为一种制备晶体材料的有效方法已得到广泛应用,近年来,采用金属诱导晶化(metal induced crystallization,MIC)法显著降低材料的晶化温度引起了研究者们的兴趣。为探究MIC模式下温度对金属催化剂扩散行为及晶化过程中材料结构...
关键词：透射电镜 原位 MIC 非晶硅 
金属Al诱导Si晶化的Al/Si异质薄膜的原子输运模拟
《河南科技》2023年第20期76-79,共4页侯毅 王宁 谯进玉 侯君祎 严汝阳 吴芳芳 马晓波 陈焕铭 
国家自然科学基金资助(NSFC 12164035)。
【目的】从原子层次分析金属Al诱导Si晶化的物理过程与机理。【方法】运用第一性原理计算方法,对Al/Si异质非晶薄膜在热处理过程中Si的晶化过程进行理论计算与模拟。【结果】结果表明,Al/Si异质薄膜在热处理过程中Al、Si原子发生了互扩...
关键词：金属诱导晶化 异质薄膜 原子输运 
金属诱导晶化基础与应用研究进展被引量：6
《金属学报》2020年第1期66-82,共17页王祖敏 张安 陈媛媛 黄远 王江涌 
国家自然科学基金项目No.51571148;国家重点研发计划项目No.2017YFE0302600~~
将非晶半导体与金属相接触,可以诱导非晶半导体在极低的温度下结晶,这一现象被称为金属诱导晶化。薄膜状态的晶体半导体是用于众多先进技术中的关键材料,被广泛应用于微电子、光电子、显示技术和光伏技术等领域。金属诱导晶化为低温晶...
关键词：金属诱导晶化 界面热力学 金属/半导体体系 固相反应 对流传输 
非晶硅薄膜晶化方法
《材料导报》2017年第A02期84-87,共4页陶泉丽 陈诺夫 马大燕 王从杰 白一鸣 
北京市自然科学基金(2151004);中央高校基本科研业务费专项资助基金(2016MS50)
多晶硅薄膜由于具有较高的载流子迁移率和良好的光电性能,广泛应用于集成电路及光电器件中,尤其在太阳电池领域引起了广泛关注。多晶材料晶界处会发生载流子的复合,降低载流子寿命。结晶度与晶粒尺寸是多晶硅薄膜取得良好性能的关键因素...
关键词：多晶硅 热退火 金属诱导晶化 激光晶化 
铜镍诱导非晶硅晶化机制研究
《功能材料》2017年第11期11161-11167,共7页崔东庆 简玮 余云鹏 林舜辉 王江涌 
国家自然科学基金资助项目(11274218)
对可形成硅化物的金属铜、镍诱导非晶硅晶化机制进行了研究。利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)和磁控溅射制备了Cu/a-Si、Ni/a-Si双层薄膜系列样品,并对制备的样品进行了退火处理,然后利用X射线衍射仪和拉曼光谱仪对样品进行了表征...
关键词：金属诱导晶化 界面热力学 金属硅化物 铜 镍 
多晶硅薄膜材料制备技术研究进展被引量：2
《现代化工》2015年第5期25-29,共5页李嘉 焦玉娟 周正扬 高肖汉 吕雪川 范志平 
国家自然科学基金项目(21003069;21103078);辽宁石油化工大学环境科学与工程学科创新团队([2014]11号)
阐述了多种多晶硅薄膜的制备方法和相关工艺技术,介绍了各种工艺条件对多晶硅薄膜材料的结构和性能等的影响,并比较了多种制备方法优点与不足,并对今后发展趋势和前景做出展望。
关键词：多晶硅薄膜 化学气相沉积 固相晶化 金属诱导晶化 太阳能电池 
金属诱导低温制备多晶硅薄膜工艺新进展
《光谱实验室》2013年第5期2246-2250,共5页杨奕凡 李亚莉 宋化雨 郝会颖 邢杰 董敬敬 
中国地质大学(北京)大学生A类创新实验项目(2012AG0078);中央高校基本科研业务费项目(2012070)
多晶硅薄膜由于兼具稳定性、高光敏性、便于大面积沉积等优势成为目前光伏领域的研究热点。本文综述了近几年金属诱导非晶硅薄膜晶化的新工艺,介绍了各种工艺条件对多晶硅薄膜材料的结构、金属含量的调控规律。最后展望了未来的发展趋势。
关键词：金属诱导晶化 非晶硅 多晶硅薄膜 
金属镍诱导p型多晶硅薄膜的光电性能研究
《功能材料与器件学报》2011年第4期350-354,共5页黄园媛 石培培 牛巧利 章勇 
国家自然科学基金项目(No.10904042);教育部留学回国人员科研启动基金项目;广东省自然科学基金项目(No.8521063101000007)
利用电子束蒸镀方法及重掺杂p型硅为蒸发源在K8玻璃衬底上沉积非晶硅薄膜,采用镍诱导晶化法在氮气氛围下进行退火处理制备出p型多晶硅薄膜。研究了不同温度热处理条件对p型多晶硅薄膜的光电性能的影响,通过霍尔测量、拉曼光谱、原子力...
关键词：金属诱导晶化 p型多晶硅薄膜 非晶硅薄膜 
非晶硅薄膜的金属诱导晶化研究现状被引量：1
《表面技术》2011年第5期97-100,共4页田跃生 
概述了非晶硅薄膜的金属诱导晶化原理,介绍了Al,Ni两种金属诱导非晶硅薄膜晶化的一般规律,详细探讨了金属诱导条件下非晶硅薄膜的本质晶化机理,旨在为非晶硅薄膜的低温成核、晶化机理研究和多晶硅薄膜的研发制备提供实验支持与理论参考。
关键词：非晶 硅薄膜 诱导晶化 
直接形成不连续铜膜的硅金属诱导晶化被引量：2
《真空》2010年第4期13-16,共4页王健 李德杰 万媛 罗毅 查良镇 
为发展低成本的多晶硅薄膜太阳能电池,采用磁控溅射技术,通过选择不同极性的表面和改变衬底温度,在普通钠钙玻璃衬底上直接形成了不连续的金属铜薄膜。以该薄膜作为诱导金属,在高温真空条件下对磁控溅射的非晶硅薄膜实现了固相金属诱导...
关键词：光伏电池 多晶硅薄膜 金属诱导晶化 磁控溅射 不连续铜薄膜 
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