万媛

作品数：2被引量：2H指数：1
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供职机构：清华大学信息科学技术学院电子工程系更多>>
发文主题：磁控溅射硅光伏电池多晶硅薄膜金属诱导晶化更多>>
发文领域：动力工程及工程热物理理学电子电信更多>>
发文期刊：《真空》更多>>
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直接形成不连续铜膜的硅金属诱导晶化被引量：2
《真空》2010年第4期13-16,共4页王健 李德杰 万媛 罗毅 查良镇 
为发展低成本的多晶硅薄膜太阳能电池,采用磁控溅射技术,通过选择不同极性的表面和改变衬底温度,在普通钠钙玻璃衬底上直接形成了不连续的金属铜薄膜。以该薄膜作为诱导金属,在高温真空条件下对磁控溅射的非晶硅薄膜实现了固相金属诱导...
关键词：光伏电池 多晶硅薄膜 金属诱导晶化 磁控溅射 不连续铜薄膜 
真空退火对LiF和CaF_2薄膜结晶性能的影响
《真空科学与技术》2002年第2期146-148,共3页万媛 李德杰 
研究了真空退火对玻璃衬底上热蒸发沉积的LiF和CaF2 薄膜的结晶性能的影响。X射线衍射分析结果表明 ,在4 2 0℃温度下 ,随着退火时间的增长 ,LiF薄膜的结晶状况明显改善 ;在 4 6 0℃温度下 ,随着退火时间的增长 ,CaF2
关键词：真空退火 氟化锂 氟化钙 场发射显示器 LiF薄膜 CaF2薄膜 结晶性能 X射线衍射 电子传输层 
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