李嘉

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：辽宁石油化工大学化学化工与环境学部更多>>
发文主题：材料制备技术化学气相沉积多晶硅薄膜金属诱导晶化太阳能电池更多>>
发文领域：一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊：《现代化工》更多>>
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多晶硅薄膜材料制备技术研究进展被引量：2
《现代化工》2015年第5期25-29,共5页李嘉 焦玉娟 周正扬 高肖汉 吕雪川 范志平 
国家自然科学基金项目(21003069;21103078);辽宁石油化工大学环境科学与工程学科创新团队([2014]11号)
阐述了多种多晶硅薄膜的制备方法和相关工艺技术,介绍了各种工艺条件对多晶硅薄膜材料的结构和性能等的影响,并比较了多种制备方法优点与不足,并对今后发展趋势和前景做出展望。
关键词：多晶硅薄膜 化学气相沉积 固相晶化 金属诱导晶化 太阳能电池 
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