杨奕凡

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供职机构:中国地质大学(北京)材料科学与工程学院更多>>
发文主题:非晶硅多晶硅薄膜金属诱导晶化金属诱导更多>>
发文领域:理学机械工程更多>>
发文期刊:《光谱实验室》更多>>
所获基金:中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
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金属诱导低温制备多晶硅薄膜工艺新进展
《光谱实验室》2013年第5期2246-2250,共5页杨奕凡 李亚莉 宋化雨 郝会颖 邢杰 董敬敬 
中国地质大学(北京)大学生A类创新实验项目(2012AG0078);中央高校基本科研业务费项目(2012070)
多晶硅薄膜由于兼具稳定性、高光敏性、便于大面积沉积等优势成为目前光伏领域的研究热点。本文综述了近几年金属诱导非晶硅薄膜晶化的新工艺,介绍了各种工艺条件对多晶硅薄膜材料的结构、金属含量的调控规律。最后展望了未来的发展趋势。
关键词:金属诱导晶化 非晶硅 多晶硅薄膜 
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