武汉新芯选购诺发VECTOR Express^TM CVD平台  

出　　处：《集成电路应用》2008年第4期16-16,共1页Application of IC

摘　　要：诺发（Novellus）日前宣布，随着武汉新芯购进VECTOR Express^TM CVD平台，公司300毫米设备在中国市场销量突破100台大关。武汉新芯积体电路制造公司目前由中芯国际集成电路制造有限公司（SMIC）运营与管理。

关 键 词：VECTOR 中芯国际集成电路制造有限公司 CVD 武汉 市场销量 积体电路 

分 类 号：TN405.98[电子电信—微电子学与固体电子学]