检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
出 处:《集成电路应用》2008年第6期15-15,共1页Application of IC
摘 要:奥地利Ricmar集团是一家综合半导体制造没备与服务供应商,拥有自动化系统、真空镀膜系统等产品。作为国家光刻设备工程技术研究中心依托单位,上海徽电子装备有限公司(SMEE)主要从事用于IC制造的中高端光刻机等关键设备开发,而与Ricmar合作主要负责Ricmar没备在中国的营销与服务。SMEE总经理贺荣明表示.
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