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出　　处：《集成电路应用》2008年第8期44-44,共1页Application of IC

摘　　要：品圆边缘清洗系统;双模干法刻蚀工具;自动化物料处理系统;PV面板切割系统;倒装芯片键合机……

关 键 词：清洗系统 干法刻蚀 物料处理 切割系统 倒装芯片 自动化 键合机 

分 类 号：TN405.98[电子电信—微电子学与固体电子学] TK264.11[动力工程及工程热物理—动力机械及工程]