用于计量片子工作台线性和角位移的激光干涉仪  

出　　处：《电子工业专用设备》1997年第4期54-56,共3页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：用于硅片台计量的二维测量干涉仪已被开发出来。它能同时测量线性位移和角位移，它被设计成置于密闭的环境中，减少了工作台质量，消除了热源，并能提供高分辨率和偏转速率。

关 键 词：激光干涉仪 干涉仪 工作站 硅片 

分 类 号：TN304.12[电子电信—物理电子学] TH744.3[机械工程—光学工程]