微机械加速度开关动态特性分析  

Dynamic Characteristic Analysis of Micromachined Acceleration Switch

作　　者：王洋[1] 商顺昌 任思聪[1] 

机构地区：[1]中国工程物理研究院,西北工业大学

出　　处：《电子器件》1997年第4期11-15,共5页Chinese Journal of Electron Devices

摘　　要：本文通过建立微机械加速度开关检测质量运动微分方程，利用数值分析方法对开关动态特性进行了分析。Abstract The move differential equation of the proofmass of a acceleration switch is described. By means of numerical method, the paper analyzes the dynamic characteristic of the switch.

关 键 词：微机械 加速度开关 微分方程 动态特性 开关 

分 类 号：TH－39[机械工程]