一种降低半导体激光器接触电阻的有效方法  

作　　者：王玉霞[1] 任大翠[1] 

机构地区：[1]长春光机学院重点实验室

出　　处：《光学精密机械》1997年第4期1-3,共3页Optics and Fine Mechanics

摘　　要：区域接触的好坏，对高功率半导体激光器至关重要。降低接触电阻，有利于降低阈值，提高效率和延长寿命。为此，我们做了大量的实验，找到了降低区域接触电阻的最佳工艺条件，获得了小于０．０６欧姆的最低电阻。

关 键 词：欧姆接触 接触电阻 半导体激光器 工艺 

分 类 号：TN248.4[电子电信—物理电子学]