KLA-Tencor推EUV计算光刻工具PROLITHTM 12  

出　　处：《电子工业专用设备》2008年第10期67-67,共1页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：KLA—Tencor公司近日推出了PROLITHTM12，这是一款业界领先的新版计算光刻工具。此新版工具让领先的芯片制造商及研发机构的研究人员能够以具有成本效益的方式探索与极紫外线（EUV）光刻有关的各种光罩设计、光刻材料及工艺的可行性。

关 键 词：光刻材料 KLA 工具 计算 EUV 成本效益 研究人员 研发机构 

分 类 号：F275[经济管理—企业管理] TS802[经济管理—国民经济]