无机薄膜光栅的制备及其衍射特性研究  

作　　者：王哲哲[1] 赵高扬[1] 马介源[1] 彭海军[1] 李美莲[1] 

机构地区：[1]西安理工大学材料科学与工程学院,西安710048

出　　处：《中国科学（E辑）》2008年第11期1930-1935,共6页Science in China(Series E)

基　　金：国家自然科学基金项目(批准号:90401009);西安应用材料创新基金项目(批准号:XA-AM-200611)资助

摘　　要：有效地结合激光干涉法和化学刻蚀法,提出一种制备高密度、高衍射效率无机光栅的新方法.采用溶胶-凝胶法和化学修饰法合成具有紫外感光性的含锆溶胶,并在(100)硅基板上制备含锆感光性凝胶薄膜.利用该薄膜,结合激光干涉技术和热处理工艺制备出周期为1μm的无机ZrO2薄膜光栅.为了提高光栅的深宽比,采用碘饱和的KOH各向异性刻蚀剂对无机光栅进行湿法化学刻蚀,从而有效地提高了光栅的衍射效率.对刻蚀后的光栅进行表面镀金处理,提高光栅的表面光洁度和反射率使得光栅的衍射效率得到进一步的提高.

关 键 词：溶胶-凝胶 高密度光栅 激光干涉 化学刻蚀 衍射效率 

分 类 号：TB383.2[一般工业技术—材料科学与工程]