平面交叉指状电极间电场分布  

Electric field distribution between interdigital electrodes

作　　者：史常忻[1] 覃化[1] 邵传芬[1] 曹俊峰[1] 

机构地区：[1]上海交通大学

出　　处：《半导体光电》1998年第1期27-30,共4页Semiconductor Optoelectronics

摘　　要：研究了具有金属－半导体－金属结构的探测器内部电场与其几何尺寸的关系，并求出了使探测器内部电场均匀性、稳定性达到最佳的几何条件。Dependence of electric field in MSM-PD on its geometry dimensions is studied.Optimum geometry conditions for realization of uniformity and stability of electric field in MSM-PD are given.

关 键 词：半导体器件 MSM-PD 光电器件 

分 类 号：TN15[电子电信—物理电子学] TN305