深刻蚀光栅及其应用  

作　　者：周常河[1] 冯吉军[1] 郑将军[1] 贾伟[1] 曹红超[1] 吕鹏[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室,上海201800

出　　处：《激光与光电子学进展》2009年第2期29-29,共1页Laser & Optoelectronics Progress

基　　金：国家自然科学基金委(60878035);上海市科委(07SA14)项目资助课题

摘　　要：深刻蚀光栅是一个新兴的学科方向，具有亚波长和深刻蚀双重特征的微纳光子学元件，表现出一系列特有的光学效应。石英玻璃是一种优良的光学材料，具有热稳定性能好、透过率高、成本低等优点。基于石英玻璃制作深刻蚀光栅，是实现不同功能光子学器件的一种新技术途径，具有十分重要的应用前景。

关 键 词：深刻蚀 光栅 应用 光子学器件 石英玻璃 热稳定性能 学科方向 光学效应 

分 类 号：TN252[电子电信—物理电子学] TN949.7