周常河

作品数:73被引量:316H指数:9
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供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文主题:光栅达曼光栅电子束直写衍射效率位相更多>>
发文领域:电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
发文期刊:《光学学报》《红外与激光工程》《光子学报》《中国激光》更多>>
所获基金:国家自然科学基金国家杰出青年科学基金中国科学院“百人计划”国家重点基础研究发展计划更多>>
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正入射宽光谱宽入射角高效率偏振无关多层倾斜光栅被引量:4
《光学学报》2020年第14期12-19,共8页鲁云开 余俊杰 尹正坤 周常河 
国家重点研发计划(2019YFF0216402);中科院前沿科学重点研究计划项目(QYZDJ-SSW-JSC014);上海市科委项目(17ZR1448100,19DZ2291102,19JC1415400)
基于严格耦合波分析方法和模拟退火优化算法,设计了一种在正入射条件下具有宽入射波长和角度范围的偏振无关高效率多层倾斜光栅。为了提高衍射效率和带宽范围,提出了一种折射率渐变的四层三明治光栅结构。基于这种结构,设计了一种可见...
关键词:光栅 倾斜光栅 异常反射 偏振无关 正入射 宽带 
基于超精密激光直写系统制作二维光栅被引量:13
《光学学报》2019年第9期38-46,共9页李民康 向显嵩 周常河 韦春龙 贾伟 项长铖 鲁云开 朱世曜 
中国科学院前沿科学重点研究项目(QYZDJ-SSW-JSC014)
二维光栅是光刻机光栅尺系统的核心元件。搭建了超精密激光直写系统,基于二维超精密工件台,通过旋转基片90°进行两次曝光,制作出栅线密度为1200 line/mm的二维光栅掩模。原子力显微镜和扫描电镜结果表明,所制作的掩模轮廓清晰,空间分...
关键词:光栅 超精密系统 激光直写 栅距测量 
100mm×100mm镀金反射光栅的制作与测量
《中国激光》2018年第9期251-255,共5页卜凡涛 鲁云开 李民康 周常河 
上海市科委项目(15JC1403500;16DZ2290102);中国科学院前沿科学重点研究项目(QYZDJ-SSW-JSC014)
衍射光栅在各行各业有着广泛的应用,这就要求光栅必须具有良好的质量。在制作大尺寸光栅的各种方法中,激光直写技术具有明显优势,采用并行激光直写技术制作出了尺寸为100mm×100mm、线数为1780line/mm的正弦形光栅。首先对光栅进行理论...
关键词:光栅 镀金光栅 测量 激光直写 衍射效率 
光栅模式的色散方程与对称性被引量:1
《光学学报》2018年第9期52-57,共6页项长铖 周常河 
国家自然科学基金(61405217;61405216)
提出了横电、横磁偏振布拉格角入射下光栅模式的色散方程可进一步分解的理论,证明了分解得到的方程与光栅模式对称性间的等价关系。光栅模式的对称性有助于阐释光栅内部衍射过程的物理图像。通过讨论光栅模式方程的根的分布性质,提出了...
关键词:衍射 衍射理论 衍射光栅 色散方程 对称性 
调平聚焦伺服控制系统的优化设计被引量:4
《光学学报》2017年第1期253-262,共10页宗永红 周常河 麻健勇 王津 卢炎聪 
国家科技部项目(2012YQ170004);国家自然科学基金(61307064)
以提高共焦差动并行激光直写中光束刻写质量为目标,分析设计了调平聚焦伺服控制系统。采用柱面镜作为像散元件,与四象限光电探测器结合,利用差动像散检测方法和比例积分微分(PID)反馈算法减少光源和外部干扰的误差,获得高灵敏度、高精...
关键词:测量 光栅 调平调焦 参数优化 差动像散 反馈控制 
基于圆环达曼光栅整形的环形光抽运的Nd…YAG声光调Q涡旋光激光器被引量:7
《中国激光》2016年第6期8-13,共6页徐云 余俊杰 韩侠辉 李桂运 夏克贵 周常河 李建郎 
国家自然科学基金(61275206;61475166)
研究了圆环达曼光栅(CDG)整形的环形光抽运的声光调Q Nd…YAG激光器。该激光器的腔体由激光晶体、声光调制器以及平面输出耦合镜组成。所用抽运源为光纤耦合808nm半导体激光器,其发射光经过CDG发生一级衍射,产生的环形光场强度分布用于...
关键词:激光器 声光调Q 圆环达曼光栅 光束整形 涡旋光 
用于三维重建的点云单应性迭代最近点配准算法被引量:40
《光学学报》2015年第5期244-250,共7页韦盛斌 王少卿 周常河 刘昆 范鑫 
国家自然科学基金(61308073);国家文物局文物保护创新联盟课题(20120228)
点云配准是光学三维(3D)轮廓测量术的关键技术之一。无标志点的点云配准大多由迭代最近点(ICP)算法实现。为提高ICP算法的性能,提出了一种基于点云单应性的迭代最近点配准算法。描述了该算法中单应性点对的建立方法,并推导了点云之间的...
关键词:机器视觉 迭代最近点 点云配准 三维扫描 
三环位相型光瞳滤波器的横向超分辨与轴向焦深扩展被引量:7
《物理学报》2011年第2期248-252,共5页王伟 周常河 余俊杰 
安徽工业大学青年教师科研基金(批准号:QZ201017)资助的课题~~
用矢量衍射方法分析了线偏振光入射到带有三环位相型光瞳滤波器的高数值孔径物镜时,焦点的轴向和横向光强分布.数值模拟结果表明,高数值孔径物镜聚焦时需同时考虑光强的轴向和横向分布.通过加入三环位相光瞳滤波器,在实现横向超分辨的...
关键词:光学超分辨 扩展焦深 位相型光瞳滤波器 矢量衍射方法 
小型管道内壁三维成像测量系统被引量:6
《中国激光》2010年第8期2025-2028,共4页叶晶 周常河 贾伟 
国家自然科学基金(60878035);上海市科委(09520709300)资助课题
介绍了一种适用于管道内壁缺陷检测的三维重建系统。利用条纹投影的傅里叶变换轮廓术,采用两个普通显微物镜及振幅光栅构建了一套测量管道内壁三维形貌的装置,并对该装置进行了实验测试。利用显微物镜能得到小型物体放大清晰的像,从而...
关键词:光学测量 傅里叶变换轮廓术 结构光 条纹投影 管道内壁 
激光诱导金属铬膜可逆暗斑现象的实验研究被引量:1
《中国激光》2010年第7期1726-1729,共4页武腾飞 周常河 朱林伟 樊仲维 牛岗 麻云风 
国家973计划(2006CB806000);国家863计划(2008AA031901);国家自然科学基金(60878035);上海市科学技术委员会(07SA14)资助课题
采用抽运探测光路,实验研究发现飞秒脉冲激光和连续激光在铬膜表面抽运激发后,当激光功率达到一定程度时,在探测光的透射方向看到了明显的中心暗斑衍射现象。而在没有抽运光激发时,这种暗斑衍射现象又消失。采用二元相位板的理论对这种...
关键词:超快光学 飞秒脉冲激光 相位变化 可逆 中心暗斑衍射 
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