曹红超

作品数：5被引量：5H指数：2
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供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文主题：光栅光栅周期电子束直写衍射效率达曼光栅更多>>
发文领域：电子电信理学机械工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《激光与光电子学进展》《光学学报》《中国激光》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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基于光束扫描的光场匀化技术
《光学学报》2024年第16期20-29,共10页张海冬 赵成强 张益彬 曹红超 晋云霞 刘世杰 邵建达 
国家重点研发计划(2020YFA0714500);国家自然科学基金(61875212,U1831211);上海市战略性新兴产业发展专项基金(31011442501217020191D3101001);中国科学院国际合作项目(181231KYSB20200040);中国科学院战略性先导科技专项(A类)资助(XDA25020314)。
提出一种新型的光束扫描匀光方法。扫描干涉光刻后基板处的整体光场强度可以实现均匀分布,进而光栅基板处的曝光剂量就可以实现宏观上的均匀分布。对扫描匀光方法的扫描参数进行数值分析,并开展相关实验。扫描匀光的实验结果表明,当步...
关键词：光栅 全息光栅 曝光系统 光束扫描 光场均匀性 条纹漂移锁定 
近红外强激光与反射式全息平面衍射光栅的交织发展被引量：2
《中国激光》2024年第11期480-499,共20页晋云霞 韩昱行 曹红超 孔钒宇 邵建达 
国家重点研发计划(2020YFA0714500);国家自然科学基金(61875212、U1831211);上海市战略性新兴产业发展专项基金(31011442501217020191D3101001);中国科学院国际合作项目(181231KYSB20200040);第九届青年人才托举工程项目(2023QNRC001、YESS20230283)。
强激光领域目前正处于取得重大突破和开拓应用的关键阶段,尤其以面向高峰值功率的超强超短激光和高平均功率的高能连续激光为代表。近五年来,国内外基于啁啾脉冲放大及其衍生技术的超强超短激光大科学装置已经突破十拍瓦量级峰值功率,...
关键词：超强超短激光 高能连续激光 脉冲压缩光栅 合束光栅 强激光衍射光栅 
基于蓝宝石材料的微结构增透性能研究
《中国激光》2023年第22期63-71,共9页张文妮 曹红超 孔钒宇 张益彬 汪瑞 晋云霞 邵建达 
国家重点研发计划(2020YFA0714500);国家自然科学基金(61875212,U1831211);上海市战略性新兴产业发展专项基金(31011442501217020191D3101001);中国科学院国际合作项目(181231KYSB20200040);中国科学院战略性先导科技专项(A类)资助(XDA25020314)。
针对传统熔石英激光窗口在碱金属蒸气环境下易腐蚀的痛点问题,提出了在蓝宝石材料上制备增透微结构的方法,以实现耐高温、耐腐蚀的高透激光窗口。在理论仿真的基础上,采用干涉曝光与反应离子束刻蚀技术,在蓝宝石基底表面上制备了增透微...
关键词：薄膜 增透微结构 干涉曝光 反应离子束刻蚀 
室温下大厚度氟化钇薄膜的制备被引量：1
《中国激光》2021年第21期55-62,共8页刘畅洋 晋云霞 曹红超 孔钒宇 王勇禄 邵建达 
国家重点研发计划“变革性技术关键科学问题”重点专项(2020YFA0714500);国家自然科学基金重点项目(61875212)。
氟化钇薄膜由于具有优良的光学性能常被用于红外波段,通过优化磁控溅射工艺,成功地在锗基底上实现了厚度大于1μm的氟化钇薄膜的制备,并分析了溅射功率对于氟化钇薄膜光学性能的影响。采用X射线衍射仪、X射线光电子能谱仪、傅里叶红外...
关键词：薄膜 氟化钇薄膜 磁控溅射 溅射功率 折射率 
深刻蚀光栅及其应用被引量：2
《激光与光电子学进展》2009年第2期29-29,共1页周常河 冯吉军 郑将军 贾伟 曹红超 吕鹏 
国家自然科学基金委(60878035);上海市科委(07SA14)项目资助课题
深刻蚀光栅是一个新兴的学科方向，具有亚波长和深刻蚀双重特征的微纳光子学元件，表现出一系列特有的光学效应。石英玻璃是一种优良的光学材料，具有热稳定性能好、透过率高、成本低等优点。基于石英玻璃制作深刻蚀光栅，是实现不同功...
关键词：深刻蚀 光栅 应用 光子学器件 石英玻璃 热稳定性能 学科方向 光学效应 
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