光学工艺 微细加工技术与设备  

出　　处：《中国光学》2005年第1期96-96,共1页Chinese Optics

摘　　要：TN305 2005010726 全数字化激光直写转台系统=An all-digital rotating platform system for laser direct writer[刊,中]／梁宜勇(浙江大学现代光学仪器国家重点实验室．浙江,杭州(310027))∥光电工程．-2004,31(5)．-1-3,10 为提高极坐标激光直写设备的性能,设计了全数字化的转台系统,增强了与平台、调焦、光强系统的同步。提出数字锁相积分、可编程PID控制及变周期稳速判据等概念,并应用于转台控制器设计。配合改进的快速光强调制系统,使极坐标激光直写设备具备制作精确环、任意孤和变宽线条的能力。图5参5(严寒)

关 键 词：微细加工 光学工艺 全数字化 光刻胶 激光直写技术 曝光量 微电子机械系统 电子技术实验 室温红外探测器 激光直写光刻 

分 类 号：TH744.5[机械工程—光学工程]