半导体C—V测量基础——C—V测量能够提供有关器件和材料特征的大量信息  

作　　者：Lee Stauffer 

机构地区：[1]吉时利仪器公司

出　　处：《国外电子测量技术》2009年第3期8-11,共4页Foreign Electronic Measurement Technology

关 键 词：半导体器件 C-V测量 材料特征 信息 基础 MOSFET MEMS器件 TFT显示器 

分 类 号：TN303[电子电信—物理电子学] TN307