光学邻近效应的计算机模拟研究  

COMPUTER SIMULATION RESEARCH OF OPTICAL PROXIMITY EFFECT

作　　者：黄晓阳[1,2] 杜惊雷 郭永康 孙国良[1,2] 

机构地区：[1]四川大学物理系 [2]中科院光电所微细加工光学技术国家重点实验室

出　　处：《微细加工技术》1998年第1期11-18,共8页Microfabrication Technology

基　　金：国家自然科学基金;光电所微细加工光学技术国家重点实验室基金

摘　　要：本文以部分相干光的衍射理论为基础，分析了掩模结构参量对衍射场分布的影响，讨论了光学邻近效应产生的物理机理，确定了其有效作用范围，为研究光学邻近效应校正打下了基础。

关 键 词：部分相干 光学邻近效应 计算机模拟 

分 类 号：O436[机械工程—光学工程]