孙国良

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供职机构：四川大学物理科学与技术学院(核科学与工程技术学院)更多>>
发文主题：部分相干光学邻近效应计算机模拟研究计算机模拟更多>>
发文领域：理学机械工程更多>>
发文期刊：《微细加工技术》更多>>
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光学邻近效应的计算机模拟研究
《微细加工技术》1998年第1期11-18,共8页黄晓阳 杜惊雷 郭永康 孙国良 
国家自然科学基金;光电所微细加工光学技术国家重点实验室基金
本文以部分相干光的衍射理论为基础，分析了掩模结构参量对衍射场分布的影响，讨论了光学邻近效应产生的物理机理，确定了其有效作用范围，为研究光学邻近效应校正打下了基础。
关键词：部分相干 光学邻近效应 计算机模拟 
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