化学气相沉积金刚石膜工具研究进展及产业化趋势  

Research Progress and Industrialization Tendency of CVD Diamond Film Cutting Tool

作　　者：吕反修[1] 

机构地区：[1]北京科技大学

出　　处：《航空制造技术》2009年第13期84-87,共4页Aeronautical Manufacturing Technology

基　　金：国家自然科学基金项目(50572007和50872010)资助

摘　　要：20多年来,CVD金刚石厚膜焊接工具和薄膜涂层工具的研究都已取得了十分显著的进展,关键性的技术问题已经基本解决,相关产品已经得到实际应用,近年来在国内外均已出现CVD金刚石工具产业,并已经形成了一定的市场规模。

关 键 词：涂层工具 化学气相沉积 产业化 金刚石膜 金刚石厚膜 金刚石工具 焊接工具 相关产品 

分 类 号：TN304.05[电子电信—物理电子学]