0.35μm分步重复投影光刻机气浮工件台研究  

STUDY OF AIR-BEARING STAGE SYSTEM IN 0.35μm WAFER STEPPER

作　　者：王继红[1] 唐小平[1] 

机构地区：[1]中国科学院光电技术研究所,成都610209

出　　处：《微细加工技术》1998年第3期20-25,共6页Microfabrication Technology

摘　　要：本文阐述了气浮工件台的组成、工作原理及控制方法 。The composition operational principle and control methods of the air bearing stage are introduced. The factors affec ting the positioning repeatability accuracy of air bearing stage are discussed in detail.

关 键 词：重复投影光刻机 气浮工件台 半导体器件 光刻机 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]