唐小平

作品数：3被引量：6H指数：2
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供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文主题：光刻半导体器件分步重复投影光刻机光刻机大规模集成电路更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《微细加工技术》更多>>
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高精度逐场调焦调平实时动态控制算法研究被引量：1
《微细加工技术》1999年第3期35-40,共6页张津 姚汉民 唐小平 胡淞 
主要介绍一种高精度逐场调焦调平实时动态控制算法。逐场动态精确求解耦合传递矩阵和解耦矩阵，将每个 Ｃ Ｈ Ｉ Ｐ的坐标位置和尺寸纳入耦合关系，使各控制回路实时独立调节，以满足系统稳定和高精度实时逐场调焦调平。
关键词：逐场调焦调平 耦合传递矩阵 IC 光刻 
亚半微米光刻投影物镜温度补偿控制及算法研究被引量：2
《微细加工技术》1999年第2期71-78,共8页张津 姚汉民 陈旭南 唐小平 
主要介绍一种光刻机投影物镜温度补偿控制的原理及控制算法。根据系统结构、对象特性和过程指标要求，采用了一种智能型线性－模糊控制器，获得了优良的动态和稳态性能。
关键词：投影物镜 温度补偿 光刻 大规模集成电路 
0.35μm分步重复投影光刻机气浮工件台研究被引量：3
《微细加工技术》1998年第3期20-25,共6页王继红 唐小平 
本文阐述了气浮工件台的组成、工作原理及控制方法 。
关键词：重复投影光刻机 气浮工件台 半导体器件 光刻机 
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