张津

作品数：6被引量：11H指数：2
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供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文主题：投影光刻机IC光刻调平亚半微米更多>>
发文领域：电子电信兵器科学与技术理学机械工程更多>>
发文期刊：《微细加工技术》《红外与激光工程》《电子工业专用设备》《光电工程》更多>>
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高精度逐场调焦调平实时动态控制算法研究被引量：1
《微细加工技术》1999年第3期35-40,共6页张津 姚汉民 唐小平 胡淞 
主要介绍一种高精度逐场调焦调平实时动态控制算法。逐场动态精确求解耦合传递矩阵和解耦矩阵，将每个 Ｃ Ｈ Ｉ Ｐ的坐标位置和尺寸纳入耦合关系，使各控制回路实时独立调节，以满足系统稳定和高精度实时逐场调焦调平。
关键词：逐场调焦调平 耦合传递矩阵 IC 光刻 
亚微米i线投影曝光机曝光能量积分和快门控制系统
《光电工程》1999年第S1期82-86,共5页张津 唐小萍 
主要介绍了亚微米ｉ线投影曝光机上使用的曝光能量积分快门控制系统。论述了新的设计方法和工作原理，在曝光期间挡光快门旋转３６０°是本系统的一个重要特点。该系统获得了小于０．５％的控制精度。
关键词：曝光能量积分 快门控制系统 曝光控制 投影式光刻机 
红外导引头大气层内探测能力的仿真分析被引量：4
《红外与激光工程》1999年第6期68-71,共4页张晓宏 杨维全 张津 
讨论了３ ～５μｍ 波段范围内窗口辐射及大气噪声的分布情况，指出３－３ ～３－６μｍ 为红外导引头工作的理想波段。对大气透过率和天空背景辐射进行了初步分析，指出高度为其最主要影响因素。采用信噪比来表征导引头系统的探测能力...
关键词：红外导引头 大气层内 探测能力 仿真 动能拦截器 
亚半微米光刻投影物镜温度补偿控制及算法研究被引量：2
《微细加工技术》1999年第2期71-78,共8页张津 姚汉民 陈旭南 唐小平 
主要介绍一种光刻机投影物镜温度补偿控制的原理及控制算法。根据系统结构、对象特性和过程指标要求，采用了一种智能型线性－模糊控制器，获得了优良的动态和稳态性能。
关键词：投影物镜 温度补偿 光刻 大规模集成电路 
高精度逐场调焦调平控制系统数学模型分析
《电子工业专用设备》1999年第2期10-14,共5页张津 姚汉民 唐小萍 胡淞 
详细介绍了基于硅片ＣＨＩＰ中心坐标的高精度逐场调焦调平控制系统数学模型，并简要给出了系统控制算法。
关键词：逐场调焦调平 数学模型 控制系统 硅片 曝光 
0.35μm投影光刻机的逐场调平技术与套刻步进模型被引量：4
《光电工程》1998年第A12期42-46,共5页胡淞 姚汉民 张津 李展 曾晓阳 苏伟军 
介绍用于 0 .35μm投影光刻机的逐场调平技术 ,讨论其检测和控制原理 ,并作精度分析 ;讨论逐场调平对套刻精度的影响 ,并建立三轴测量逐场调平的套刻步进模型。
关键词：投影光刻机 逐场调平 步进模型 IC 
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