高精度逐场调焦调平控制系统数学模型分析  

作　　者：张津[1] 姚汉民[1] 唐小萍[1] 胡淞[1] 

机构地区：[1]中国科学院光电技术研究所

出　　处：《电子工业专用设备》1999年第2期10-14,共5页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：详细介绍了基于硅片ＣＨＩＰ中心坐标的高精度逐场调焦调平控制系统数学模型，并简要给出了系统控制算法。

关 键 词：逐场调焦调平 数学模型 控制系统 硅片 曝光 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]