压电陶瓷工作台的自校正PID控制  

Self-Tuning Control of Piezoelectric Positioning Stage

作　　者：魏强[1] 康英杰[1] 王绍民[1] 

机构地区：[1]泰山学院物理与电子工程学院,山东泰安271021

出　　处：《信息技术与信息化》2009年第4期81-82,87,共3页Information Technology and Informatization

基　　金：山东省教育厅科技计划项目(J08LJ89)

摘　　要：为了提高压电陶瓷驱动的精密工作台的定位精度,提出了一种基于自校正理论的PID控制方法。分析了工作台的动态迟滞模型,辨识了工作台的参数,设计了自校正PID控制算法。实验结果表明,与传统PID控制器相比,定位精度有了较大提高,相应速度得以加快,有效改进了工作台的性能。

关 键 词：精密工作台 压电陶瓷 系统辨识 自适应控制 

分 类 号：TM282[一般工业技术—材料科学与工程]