科学家利用激光将金属栅变成纳米点阵列  

出　　处：《光机电信息》2009年第10期36-36,共1页OME Information

摘　　要：金属纳米点（Nanodot）可应用在如催化、环境修复（Environ-mental remediation）、DNA侦测与高密度数据存储等领域,其中某些应用需要周期性金属纳米点阵列,而目前主要制作方法包括以自组成为主的湿式化学处理与以光刻技术为主的纳米图案化技术。湿式化学处理有高产量的特性，但纳米微粒成份必须为水溶性或具生物兼容性。而电子束光刻术与聚焦离子束等光刻工具虽能得到排列规则且大小相近的纳米点，产量却很低。

关 键 词：纳米点 金属栅 阵列 科学家 激光 光刻技术 化学处理 生物兼容性 

分 类 号：TN820.11[电子电信—信息与通信工程] TB383[一般工业技术—材料科学与工程]