基于空间像的光刻机投影物镜波像差在线检测技术新进展  

出　　处：《光学与光电技术》2009年第6期96-96,共1页Optics & Optoelectronic Technology

摘　　要：本刊讯 波像差直接影响光刻机成像质量、光刻分辨率以及关键尺寸（CD）均匀性等光刻技术指标，是光刻机中最关键的检测指标之一，可以用Zernike多项式及其系数来表征。武汉光电国家实验室光电材料与微纳制造研究部刘世元教授领导的纳米光学测量研究小组为了克服目前各种波像差在线检测技术的不足，通过深入研究光刻机中的部分相干成像理论，提出一种基于二元光栅掩模标记的波像差在线检测新技术，

关 键 词：在线检测技术 光刻机 波像差 投影物镜 ZERNIKE多项式 空间 光电材料 光刻分辨率 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学] TP274[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]