Tegal DRIE 3200赢得MEMS传感器制造商订单  

出　　处：《微纳电子技术》2009年第12期768-768,共1页Micronanoelectronic Technology

关 键 词：MEMS传感器 制造商 感应耦合等离子体刻蚀 订单 等离子刻蚀 磁约束装置 设备 多模块 

分 类 号：TN965[电子电信—信号与信息处理] TH721[电子电信—信息与通信工程]