MEMS氮化钛谐振式压力传感器研究  

Research on MEMS TiN resonant pressure sensors

作　　者：杨川[1] 郭灿[1] 

机构地区：[1]西安交通大学机械工程学院精密工程研究所,陕西西安710049

出　　处：《传感器与微系统》2010年第1期36-38,共3页Transducer and Microsystem Technologies

基　　金：国家"863"计划资助项目(2007AA042325);陕西省科学技术研究发展计划资助项目(2007K05-04)

摘　　要：提出了一种基于TiN双谐振梁结构的MEMS谐振式压力传感器,利用TiN谐振梁的谐振频率与被测压力的关系进行压力测量。针对传感器的敏感结构建立了数学模型,通过理论分析和ANSYS有限元软件的模拟,得出了谐振梁长度的变化范围和谐振梁的结构参数,并确定了TiN谐振梁在矩形压力膜上方的最佳位置。这对传感器的结构设计具有重要的指导意义。A structure of TiN double resonant beams pressure sensor is proposed, the pressure is measured through the relation between the resonant frequency of TiN resonant beams and the measured pressure. The maths model of sensitive structures of the resonant sensor is established, through the analysis and numeration from the theory, and simulation by the ANSYS software, the varied extension of the length and the optimization of the beams are educed and the optimal position of the TiN resonant on the rectangle pressure membrane is confirmed. And this is very important to the design of the sensors＇ structure.

关 键 词：微机电系统 氮化钛 敏感结构 位置优化 谐振式压力传感器 

分 类 号：TP212.12[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]