EBL制备用于气体传感器的SAW延迟线的方法  

Fabrication of SAW Delay-line for Gas Sensors by EBL

作　　者：赵以贵[1] 刘明[1] 牛洁斌[1] 陈宝钦[1] 

机构地区：[1]中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室,北京100029

出　　处：《压电与声光》2010年第3期340-342,345,共4页Piezoelectrics & Acoustooptics

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60825403);国家重点基础研究发展计划基金资助项目(2009CB939703)

摘　　要：电子束光刻(EBL)具有高的分辨率,能制备具有亚微米尺寸的声表面波(SAW)器件。一种采用EBL技术制备用于气体传感器的具有亚微米尺寸的SAW延迟线的方法:首先利用EBL在压电衬底上获得叉指换能器(IDT)的电子抗蚀剂图形;然后用剥离工艺制作出IDT电极。通过邻近效应校正和提高场拼接精度,制作的叉指电极具有一致性,电极形貌好。相对于干法刻蚀工艺,剥离工艺避免了对压电衬底表面的物理损伤。该技术为实现特征尺寸达到百纳米级的更高工作频率SAW器件的制造提供了很好的途径。Sub-micron surface acoustic wave（SAW） devices can be fabricated by the electron beam lithography（EBL） for high resolution.An approach to fabricate sub-micron SAW delay-line for gas sensors by using EBL and metal lift-off was presented as follows： first to get interdigital transducer（IDT） resist pattern on the piezoelectric substrate by EBL;then to obtain IDT electrodes using metal lift-off.By the correction of proximity effect and the improvement of field splicing accuracy in EBL,consistent and well-structured IDT was obtained.Compared with the dry etching,the metal lift-off process avoids physical damages on the substrate surface.This is a good method for the fabrication of higher frequency SAW devices with hundred-nanometer feature size.

关 键 词：电子束光刻 剥离 声表面波延迟线 叉指换能器 

分 类 号：TN65[电子电信—电路与系统]