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作 者:张进书[1] 金晓军[1] 贾宏勇[1] 陈培毅[1] 钱佩信[1] 罗台秦[2] 杨增敏 黄杰 梁春广
机构地区:[1]清华大学微电子学研究所 [2]香港科技大学电机与电子工程系香港
出 处:《Journal of Semiconductors》1999年第4期284-286,共3页半导体学报(英文版)
摘 要:本文对用准泡发射区基区工艺制备的SiGe异质结双极晶体管进行了微波功率性能的研究.SiGeHBT在偏置电压VCE=4V和偏置电流Ic=300mA时截止频率fT=7.5GHz.在共射结构C类工作状态下,SiGe异质结双极晶体管工作在900MHz时,连续波输出功率为5W,集电极转化效率为63%,功率增益为7.4dB.Abstract The microwave power performance of the SiGe heterojunction bipolar transistor fabricated by quasi washed emitter base process, is investigated. The cutoff frequency of the SiGe HBT is 7 5GHz at collector emitter voltage V CE of 4V and collector current I c of 300mA. In common emitter configuration and class C operation, the SiGe heterojunction bipolar transistor with continuous wave output power of 5W and collector conversion efficiency of 63% and power gain of 7 4dB is obtained at frequency of 900MHz.
分 类 号:TN322.8[电子电信—物理电子学]
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