多温区空间晶体生长炉的解耦预测控制研究  

On Decoupling Predictive Control of Multi-zone Furnace for Space Crystal Growth

作　　者：于强[1] 王刚[2] 秦琳琳[2] 郑涛[2] 吕旭涛[2] 

机构地区：[1]中国科学院空间科学与应用研究中心,北京100190 [2]中国科学技术大学自动化系,合肥230027

出　　处：《系统仿真学报》2010年第8期1947-1950,1973,共5页Journal of System Simulation

摘　　要：通过传热机理分析,推导出了多温区晶体生长炉的简化线性模型,使用递推最小二乘法辨识了模型参数。研究了解耦预测控制,改进了预测控制性能指标的选取方法,不需要在线调节前馈增益矩阵,提高了控制的实时性。对系统进行控制仿真,结果表明,该控制方法具有良好的控制精度,为该方法的实际应用奠定了基础。A simplified linear model of multi-zone furnace was derived by mechanic analyzing,and the recursive least-squares estimation was used to obtain the parameters of this model.Studying on the decoupling predictive control,the choice of feed-forward gain matrix in the cost function was improved.Without adjusting the feed-forward gain online,the controller is more applicable.Simulation indicates the efficiency and accuracy of the controller as the basic work for future application.

关 键 词：多温区晶体生长炉 机理建模 解耦控制 预测控制 

分 类 号：TP273[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]