基于基片集成波导的硅微机械滤波器  

Silicon Micromachined Filters Using Substrate Integrated Waveguide (SIW) Cavity

作　　者：郁元卫[1] 贾世星[1] 朱健[1] 

机构地区：[1]单片集成电路和模块国家级重点实验室,南京电子器件研究所,南京210016

出　　处：《固体电子学研究与进展》2010年第3期F0003-F0003,共1页Research & Progress of SSE

关 键 词：基片集成波导 微机械滤波器 波导结构 微波电路 高品质因数 毫米波电路 功率特性 热点技术 

分 类 号：TN713[电子电信—电路与系统]