伺服图形光刻机调焦系统音圈电机的设计  

作　　者：罗敢[1] 张芳[1] 王岳环 张彪[1] 

机构地区：[1]华中理工大学计算机学院

出　　处：《电子计算机与外部设备》1999年第3期23-27,18,共6页

摘　　要：本文以作者对光刻机刻蚀光头调焦音圈电机的设计的实际经验为例，阐述了两种音圈电机结构的设计原则。并对这两种音圈电机的性能进行了分析。

关 键 词：音圈电机 光刻机 磁盘 调焦系统 存储器 

分 类 号：TP333.35[自动化与计算机技术—计算机系统结构] TM350.2[自动化与计算机技术—计算机科学与技术]