微惯性传感器的新进展  

作　　者：高杨 

出　　处：《中国工程物理研究院科技年报》2010年第1期105-107,共3页Annual Report of China Academy of Engineering Physics

摘　　要：微惯性技术是惯性技术与MEMS（Micro－Electro—Mechanical Systems，微机电系统）结合产生的一门新兴交叉学科，包括MEMS惯性传感器元件技术，惯性测量、稳定，惯性导航与制导技术。微惯性传感器主要包括：MEMS加速度计、MEMS加速度开关、MEMS陀螺仪和MEMS惯性测量单元（MIMU）

关 键 词：微惯性传感器 惯性测量单元 Systems MEMS 惯性技术 微机电系统 传感器元件 加速度开关 

分 类 号：TH-39[机械工程]