基于六维机械手的硅片传输系统  

Wafer Transfer System Based on Six-axis Robot

作　　者：李伟[1] 陈威[1] 王伟[1] 柳滨[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京065201

出　　处：《电子工业专用设备》2011年第10期15-18,共4页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：详细介绍了如何选择满足CMP抛光机硅片传输系统要求的六维机械手,并基于所选择的六维机械手配合换枪盘、末端执行器构建了硅片干进湿出式传输系统,最终利用示教盒示教出一条无碰撞、姿态合理的运动路径。This paper introduces how to choose the conformable six-axis robot,used for Wafer transfer system in CMP.We constructing the wafer Dry-in-Wet out transfer system based on the selected six-axis robot,tool changers and end effector.Finally teach out a collision-free,the reasonable attitude path by means of the teaching box.

关 键 词：IC CMP 硅片传输系统 六维机械手 

分 类 号：TP215[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]