薄膜电致发光器件制作技术的比较  

作　　者：郑永成 

出　　处：《液晶与显示》1990年第5期21-24,共4页Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays

摘　　要：引言目前,已有三个公司正在生产单色、黄色发光的薄膜电致发光（TFEL）器件。据文献报告,它们采用不同的工艺沉积有源ZnS:Mn²⁺薄膜。夏普公司采用电子束沉积,Planar公司采用热蒸发法,而洛加（Loh-ja）公司采用原子层外延和化学汽相沉积法。GTE公司是第一家在试制阶段使用射频溅射方法的。曾有人说,溅射工艺本来只能生产出效率相当低的产品,而用原子层外延法可获得最好的器件,这种争论在其它讨论中对串联式射频溅射装置产生了强烈影响。

关 键 词：薄膜电致发光 射频溅射 原子层外延 溅射工艺 电子束蒸发法 器件制作 热蒸发法 试制阶段 衬底温度 产出效率 

分 类 号：TN141.9[电子电信—物理电子学]