电子束蒸发法

作品数：37被引量：103H指数：4
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相关作者：陶春先张大伟孟国文赵相龙洪瑞金更多>>
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相关期刊：《长春理工大学学报（自然科学版）》《中国光学（中英文）》《内蒙古科技与经济》《薄膜科学与技术》更多>>
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高性能中波红外陷波滤光片设计与研制
《中国光学（中英文）》2023年第4期904-915,共12页尚鹏 陈蓓曦 孙鹏 刘华松 白金林 季一勤 曹波 马远飞 林泉 
国家自然科学基金(No.61905179);河北省自然科学基金(No.F2022103002);河北省重点研发计划项目(No.22351101D)。
为了有效抑制4.3μm CO_(2)辐射对3μm~5μm中波红外目标信号的干扰,基于Needle随机插层优化算法,采用电子束蒸发方法,建立了石英晶振监控方式下多层超厚Ge/Al_(2)O_(3)薄膜生长误差的精确反演修正模型,实现了中波红外陷波滤光片的设计...
关键词：电子束蒸发法 石英晶振监控法 红外滤光片 薄膜 反演修正 
电子束蒸发制备TiO<sub>2</sub>/云母薄膜及其光学和光催化性能研究被引量：1
《材料科学》2021年第9期967-975,共9页阿不都哈比尔•木太里甫 买买提热夏提•买买提 王淑英 阿卜杜外力•米吉提 阿不都热苏力•阿不都热西提 
本文研究了退火温度对TiO2/云母薄膜的表面形貌,晶体结构和光学性质的影响和应力对光催化效率的影响。实验结果表明,随着退火温度的升高,晶粒尺寸变大,薄膜的带隙能变小。对比TiO2/云母薄膜受压力影响和自然状态下的光催化降解实验:没...
关键词：电子束蒸发法 TiO2薄膜 光催化性能 
电子束蒸发法沉积PLA基载药复合薄膜及其抗菌性能
《南京工业大学学报（自然科学版）》2020年第6期743-750,共8页李贝贝 何纯 江晓红 YARMOLENKO M A PILIPTSOU D G ROGACHEV A A ROGACHEV A V 
科技部政府间科技合作项目(2016YFE0111800)。
以不同质量比的聚乳酸(PLA)和环丙沙星(CIP)作为靶材(PLA与CIP的质量比为1∶2、1∶1和2∶1),通过低功率电子束蒸发法(EBD)沉积3种比例的PLA基环丙沙星复合薄膜。采用X线光电子能谱仪(XPS)、核磁共振波谱仪(NMR)、场发射扫描电子显微镜(F...
关键词：电子束蒸发法 聚乳酸(PLA) 环丙沙星(CIP) PLACIP复合薄膜 抗菌性能 缓释抗菌性能 
超薄VO2外延薄膜的制备及其金属-绝缘体相变的原位研究被引量：1
《湖北大学学报（自然科学版）》2017年第3期222-226,共5页徐马记 唐志武 李派 黎明锴 何云斌 
国家自然科学基金(51572073,61274010,11574074);湖北省自然科学基金(2015CFA038,2015CFB265,2016AAA031)资助
采用电子束蒸发法(EBE)在单晶TiO_2(110)衬底上沉积VO_2超薄薄膜.实验以高纯金属V棒为蒸发源,高纯氧气作为反应气体,固定生长温度330℃,氧压2×10^(-6)mbar,然后通过改变不同的V蒸发速率和生长时间制备出不同特性的VO_2薄膜.利用原位的...
关键词：VO2薄膜 金属-绝缘体相变 电子束蒸发法 扫描隧道显微镜 低能电子衍射 X线光电子能谱 
电子束蒸发法制备Zn(O,S)薄膜及其在SnS薄膜太阳能电池上的I-V特性研究
《内蒙古科技与经济》2016年第5期83-85,共3页陈超 
采用电子束蒸发法结合氧化工艺制备得到多晶Zn(O,S)薄膜,在可见光范围内,其平均透射率约为85%,禁带宽度为3.35eV;制备得到结构为glass/ITO/Zn(O,S)/SnS/Ag的异质结器件,表现出明显的整流特性;探讨了Zn(O,S)薄膜厚度对器件I-V特性曲线的...
关键词：电子束蒸发法 Zn(O S) 薄膜太阳能电池 I-V特性 
蒸发速率对电子束蒸发法制备CdS薄膜性质影响被引量：1
《长春理工大学学报（自然科学版）》2015年第1期115-118,共4页陈哲 董连和 王丽 孙艳军 冷雁冰 
采用电子束蒸发法,以高纯Cd S块料为膜料在玻璃基底上制备了Cd S薄膜。利用X射线衍射仪和原子力显微镜表征其晶体结构和表面形貌,用四探针电阻测试仪和紫外可见分光光度计分析其电学及光学特性。结果表明,蒸发速率对薄膜结构及特性有显...
关键词：CD S薄膜 电子束蒸发法 蒸发速率 光电性能 
电子束蒸发法制备Co/Ru多层膜的微观结构与磁电阻
《粉末冶金材料科学与工程》2014年第5期832-838,共7页郝安林 
国家自然科学基金青年项目(51105002)
采用电子束蒸发法制备具有不同Co层厚度的Co/Ru多层膜。采用X射线衍射(XRD)、高分辨透射电镜(HRTEM)、扫描电镜(TEM)等对多层膜的微观结构进行观察与分析,研究多层膜微观结构对多层膜磁阻性能的影响,并探讨多层膜磁阻的产生机理。结果表...
关键词：多层膜 微观结构 磁电阻 电子束蒸镀 
电子束蒸发法制备CdS薄膜光电特性研究
《人工晶体学报》2014年第5期1137-1143,共7页陈哲 董连和 孙艳军 冷雁冰 王丽 
采用电子束蒸发法,以高纯CdS块料为膜料在玻璃基底上制备了CdS薄膜,设计了L9(34)正交实验,研究了各工艺参数对薄膜光电性能的影响。结果表明,随着基底温度,蒸发速率的提高,薄膜的电阻值呈降低趋势达到最小值后稍有升高;薄膜的阻值随真...
关键词：CDS薄膜 电子束蒸发法 正交实验 光电性能 
基于旋涂法和电子束蒸发法制备的V2O5/Ag/V2O5叠层透明导电薄膜被引量：2
《发光学报》2014年第3期360-365,共6页佐婧 郭晓阳 刘星元 
国家自然科学基金(61106057)资助项目
利用溶胶-凝胶技术与电子束蒸镀相结合的方法在常温下制备了叠层V2O5/Ag/V2O5(VAV)透明导电薄膜,研究了各层薄膜厚度对叠层结构光电特性的影响.用原子力显微镜、紫外-可见光分光光度计、四探针电阻仪及开尔文探针对样品的表面形貌、光...
关键词：溶胶-凝胶技术 透明导电薄膜 V2O5/Ag/V2O5叠层 
电子束蒸发沉积CdS掺Cl^-薄膜及其性能研究被引量：1
《光学学报》2014年第6期317-321,共5页陈哲 董连和 孙艳军 冷雁冰 
以CdS、CdCl2混合物为薄膜材料运用电子束蒸发法,制备了不同比例的CdS掺Cl-薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、四探针测试仪和紫外可见光光谱仪,对所制备薄膜的结构、光学及光电导性能进行了测试。结果表明:采用此方法制备的CdS薄膜为六角纤...
关键词：薄膜 太阳能电池 Cl-掺杂 CdS晶体 电子束蒸发法 光电性能 
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