大直径探针台的晶圆自动传输系统  

Wafer Auto-transfer System for Large Diamieter Prober

作　　者：谭立杰[1] 王洪宇[1] 王文举[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团第四十五研究所,北京101601

出　　处：《电子工业专用设备》2011年第11期36-40,共5页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：介绍了适应大直径探针台的晶圆自动传输系统及其主要的组成部分——片盒承载台、关节机械手、预对准装置。应用动力学分析证明R-θ型机械手的直线运动轨迹,阐述了机械式和光学预对准装置的主要原理,说明了晶圆自动传输系统的应用前景。This article describes wafer auto-transfer system for large diameter probe, summarizes it constitutes, which is loadport, wafer robot and pre-aligner. The kinetics analysis of R-θ type wafer robot is analyzed to prove its moving track which moves along line, it introduced the principle of machinery and photic pre-aligner, and illuminates the application foreground of wafer auto-transfer system.

关 键 词：晶圆自动传输 探针台 R-θ型机械手 预对准 

分 类 号：TN407[电子电信—微电子学与固体电子学]