王洪宇

作品数：8被引量：11H指数：2
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供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
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基于仿真分析的设备微环境控制技术被引量：1
《电子工业专用设备》2021年第3期8-11,共4页杨师 史霄 杨元元 李龙飞 王洪宇 
论述了一种基于仿真分析的半导体设备内部空间气流路径、紊流位置、各分区风压的闭环反馈系统及结构,目的在于使设备能够自动净化内部空间气体,防止颗粒凝结,从而达到控制并改善半导体设备内部微环境的目的。
关键词：集成电路 芯片 微环境 CMP工艺 
多段可控式加热台的性能测试与应用验证
《电子工业专用设备》2020年第6期37-41,共5页王洪宇 王大志 张奇 刘建国 曾晓雁 杨师 
介绍了一种自主研发的多段可控加热台的系统构造与工作原理,对其相关性能进行了测试,并在介电材料聚酰亚胺的制备过程中,对其进行了实际应用验证。结果表明,该加热台在PLC控制器与温控器的综合控制下,最多可设置12段加热温度曲线,可实...
关键词：多段可控式加热平台 性能测试 应用验证 
HTCC/LTCC激光加工设备吸尘机构优化设计被引量：1
《电子工业专用设备》2020年第3期26-30,46,共6页田世伟 武震 王洪宇 林佳 
介绍了一种针对HTCC/LTCC生陶瓷材料加工行业中的新型鸭嘴式吸尘机构。该机构是针对客户需求而设计,同时利用计算流体力学分析软件ANSYS FLUENT进行建模、计算、后处理,并与传统的吸尘方式的除尘效率进行了对比。通过模拟计算验证了该...
关键词：激光打孔/划线加工 吸尘机构 HTCC/LTCC生陶瓷 
应用于硅片传输系统的机械手设计被引量：3
《电子工业专用设备》2012年第3期36-40,共5页吕磊 胡晓霞 王洪宇 
介绍了应用于硅片传输系统的机械手发展现状,主要针对12英寸全自动探针测试台的工艺需要进行机械手系统设计,对机械手结构以及设计中需要注意的关键技术进行了阐述。该设计可以推广到整个半导体生产线其他工艺设备的应用,对未来大尺寸...
关键词：硅片 传输系统 机械手 探针测试台 
大直径探针台的晶圆自动传输系统被引量：3
《电子工业专用设备》2011年第11期36-40,共5页谭立杰 王洪宇 王文举 
介绍了适应大直径探针台的晶圆自动传输系统及其主要的组成部分——片盒承载台、关节机械手、预对准装置。应用动力学分析证明R-θ型机械手的直线运动轨迹,阐述了机械式和光学预对准装置的主要原理,说明了晶圆自动传输系统的应用前景。
关键词：晶圆自动传输 探针台 R-θ型机械手 预对准 
用于硅片传输系统的机械手设计被引量：1
《电子工业专用设备》2011年第9期34-38,共5页吕磊 胡晓霞 王洪宇 
介绍了用于硅片传输系统的机械手发展现状,主要针对300 mm全自动探针测试台的工艺需要进行机械手系统设计,对机械手结构以及设计中需要注意的关键技术进行了阐述。该设计可以推广到整个半导体生产线中其他工艺设备的应用,对未来大尺寸...
关键词：硅片 传输系统 机械手 探针测试台 
LTCC基片的飞针测试工艺研究被引量：1
《电子工业专用设备》2010年第8期49-51,共3页王洪宇 
低温共烧陶瓷技术(Low Temperature Co-fired Ceramic LTCC)是近年来兴起的一种相当令人瞩目的多学科交叉的整合组件技术,广泛用于基板、封装及微波器件等领域。主要介绍当前广泛用于检测混合电路板、LTCC陶瓷基板、PCB裸板故障的飞针...
关键词：LTCC基片 飞针测试 工艺研究 
LTCC精密丝网印刷机概述被引量：1
《电子工业专用设备》2009年第8期32-36,共5页张建亮 赵立华 王洪宇 蒲继祖 
介绍了低温共烧陶瓷(LTCC)技术,并针对其核心设备—LTCC精密丝网印刷机的机械结构和采用的关键技术作了简明扼要的阐述。
关键词：低温共烧陶瓷 丝网印刷 生瓷片 线性电机 
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