王文举

作品数：1被引量：3H指数：1
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大直径探针台的晶圆自动传输系统被引量：3
《电子工业专用设备》2011年第11期36-40,共5页谭立杰 王洪宇 王文举 
介绍了适应大直径探针台的晶圆自动传输系统及其主要的组成部分——片盒承载台、关节机械手、预对准装置。应用动力学分析证明R-θ型机械手的直线运动轨迹,阐述了机械式和光学预对准装置的主要原理,说明了晶圆自动传输系统的应用前景。
关键词：晶圆自动传输 探针台 R-θ型机械手 预对准 
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