粒子流特性对脉冲激光烧蚀淀积类金刚石薄膜的影响  

作　　者：姚东升[1] 刘晶儒[2] 俞昌旋[1] 王丽戈[2] 詹如娟[1] 

机构地区：[1]中国科学技术大学近代物理系,合肥230026 [2]西北核技术研究所,西安710024

出　　处：《中国科学（A辑）》2000年第5期451-455,共5页Science in China(Series A)

基　　金：国家"八六三"项目!(批准号 :416 6 0 5 );国家自然科学基金资助项目!(批准号 :19835 0 30 )

摘　　要：采用两种不同脉宽 ( 30ns,5 0 0fs)的KrF准分子激光淀积类金刚石薄膜 ,通过等离子体发射光谱和离子探针的测量 ,研究了激光等离子体成分、平均离子能量和通量等随激光能量密度、淀积距离的变化 ,对两种脉宽的激光等离子体淀积的薄膜结构和性能进行了比较 。

关 键 词：类金刚石膜 粒子流特性 脉冲激光烧蚀淀积 

分 类 号：O484[理学—固体物理]