王丽戈

作品数：10被引量：54H指数：5
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供职机构：西北核技术研究所更多>>
发文主题：类金刚石薄膜准分子激光脉冲激光淀积脉冲类金刚石更多>>
发文领域：理学电子电信核科学技术一般工业技术更多>>
发文期刊：《光学学报》《强激光与粒子束》《机械工程学报》《光子学报》更多>>
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脉冲准分子激光淀积薄膜的实验研究被引量：14
《强激光与粒子束》2002年第5期646-650,共5页刘晶儒 白婷 姚东升 李铁军 王丽戈 袁孝 王晟 叶锡生 
国家 8 63 80 4主题资助项目
利用两种脉宽 (30ns,5 0 0fs)的KrF准分子激光展开了淀积类金刚石薄膜的实验研究 ,并且成功地制备了大面积不含氢成分的HF DLC薄膜 ,运用时空分辨的等离子体发射光谱诊断系统和离子探针系统研究了等离子体特性对薄膜性能的影响。尝试了...
关键词：准分子激光 实验研究 脉冲激光淀积 类金刚石薄膜 非晶硅薄膜 
准分子激光直接刻蚀单晶硅研究被引量：3
《西北工业大学学报》2000年第3期491-495,共5页马炳和 苑伟政 李铁军 李晓莹 王丽戈 
陕西省自然科学基金!(96 D0 4
与传统的投影曝光微细加工方法相比 ,激光直写具有高柔性、低成本和胜任三维微型结构加工的优点。采用非稳腔的聚焦准分子激光 ( Kr F,λ=2 4 8nm)对单晶硅材料进行直接刻蚀 ,从微结构刻蚀的形状尺寸及加工过程的热效应等方面研究了准...
关键词：准分子激光 直接刻蚀 单晶硅 热影响区 冲击破坏 
粒子流特性对脉冲激光烧蚀淀积类金刚石薄膜的影响被引量：5
《中国科学（A辑）》2000年第5期451-455,共5页姚东升 刘晶儒 俞昌旋 王丽戈 詹如娟 
国家"八六三"项目!(批准号 :416 6 0 5 );国家自然科学基金资助项目!(批准号 :19835 0 30 )
采用两种不同脉宽 ( 30ns,5 0 0fs)的KrF准分子激光淀积类金刚石薄膜 ,通过等离子体发射光谱和离子探针的测量 ,研究了激光等离子体成分、平均离子能量和通量等随激光能量密度、淀积距离的变化 ,对两种脉宽的激光等离子体淀积的薄膜结...
关键词：类金刚石膜 粒子流特性 脉冲激光烧蚀淀积 
硅的准分子激光直写刻蚀微细加工特性研究被引量：3
《机械工程学报》2000年第3期107-110,共4页苑伟政 马炳和 李晓莹 李铁军 王丽戈 刘晶儒 
陕西省自然科学基金
针对微机械三维结构对准分子激光直写微细加工的要求，在试验研究基础上，讨论了硅已加工表面形貌、加工热与热影响区等特性，得出了加工脉冲数、能量与刻蚀深度间的相互关系。
关键词：准分子激光 硅微细加工 直写刻蚀加工 
利用脉冲激基分子激光制备大尺寸类金刚石薄膜及其均匀性分析被引量：13
《光子学报》1999年第12期1080-1085,共6页李铁军 刘晶儒 王丽戈 楼祺洪 
863 计划资助
利用脉冲激光沉积结合计算机辅助衬底扫描技术制备了尺寸为７０ ×６６ｍ ｍ 、均匀性为±５ ％ 的类金刚石薄膜，薄膜显微硬度最高为２７ＧＰａ ，薄膜结合强度达到２００００ 转；在制备大尺寸薄膜的过程中，衬底扫描速度越慢，薄膜...
关键词：类金刚石薄膜 脉冲激光沉积 均匀性 
超短脉冲准分子激光淀积类金刚石薄膜的实验研究被引量：12
《光学学报》1999年第2期270-276,共7页姚东升 刘晶儒 王丽戈 李铁军 俞昌旋 詹如娟 
国家科委863高科技项目
利用ＫｒＦ超短脉冲激光器（２４８ｎｍ，５００ｆｓ，１０ｍＪ）开展了超短脉冲激光淀积类金刚石薄膜的实验研究，薄膜生长速率０．０２ｎｍ／ｐｕｌｓｅ，厚度０．５～０．６μｍ，显微硬度５５ＧＰａ，光学透过率优于９０％（５８０...
关键词：超短脉冲 类金刚石 薄膜 等离子体羽 激光淀积 
XeCl(308nm)脉冲准分子激光淀积类金刚石薄膜被引量：7
《光学学报》1997年第3期331-337,共7页李铁军 刘晶儒 王丽戈 
利用ＸｅＣｌ（３０８ｎｍ）脉冲准分子激光淀积技术在功率密度５×１０８Ｗ／ｃｍ２、室温、真空度１０－３Ｐａ的条件下，制备出不含氢成分的类金刚石薄膜，研究了类金刚石薄膜的特性及其随制备工艺条件的变化规律。研究了激光诱导的...
关键词：类金刚石 薄膜 激光 脉冲激光淀积 
百焦耳级XeCl准分子激光辐照靶材的光学诊断被引量：2
《强激光与粒子束》1996年第3期451-454,共4页甘雨刚 刘晶儒 袁孝 易爱平 王龙华 胡志云 刘建胜 李铁军 王丽戈 
在百焦耳级ＸｅＣｌ准分子激光器上，开展了强紫外激光辐照ＬＹ—１２铝靶和碳纤维靶的光学诊断实验。研究了靶面对激光的反射系数随入射激光功率密度的变化规律，获得了激光等离子体光谱及蒸汽羽积分图象等实验结果。
关键词：靶面反射系统 等离子体光谱 光学诊断 激光器 
XeCl激光触发气体开关的实验研究被引量：4
《强激光与粒子束》1993年第3期379-384,共6页景春元 邱爱慈 王晓红 刘晶儒 王丽戈 
通过实验研究了在自流工作状态下,XeCl准分子激光(λ=308nm,FWHM=21ns)对N_2和SF_6两种气体开关的触发特性。实验结果表明:(1)在p=0.1MPa,开关工作电压90％V_(SB)(V_(SB)为开关的自击穿电压)时,XeCl激光对N_2和SF_6两种气体开关的触发...
关键词：激光触发开关 开关 触发特性 
紫外虚共焦非稳腔的光学准直法被引量：2
《激光杂志》1992年第1期1-3,19,共4页甘雨刚 刘晶儒 王丽戈 
本文给出了一套用He-Ne激光束辅助内调焦望远镜,对紫外虚共焦非稳腔进行光学准直的实验方法,并计算出该法的准直精度达6.9×10^(-5)rad。进行了在放电泵浦XeC1准分子激光器上应用该法准直非稳腔的实验,并给出了实验结果。
关键词：氦氖激光器 调焦望远镜 准直法 
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