激光淀积

作品数：59被引量：152H指数：7
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相关机构：中国科学院华中科技大学中国科学院上海光学精密机械研究所南京大学更多>>
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作为高介电常数栅介质材料的LaErO_3薄膜热稳定性和电学性质的研究被引量：1
《南京大学学报（自然科学版）》2009年第2期147-152,共6页张九如 殷江 
采用脉冲激光淀积法在硅衬底上生长了LaErO3薄膜,用X射线衍射仪、X射线电子能谱仪、高分辨透射电子显微镜研究了该薄膜的热学和电学性质.通过电容-电压测量得到了较好的电容-电压曲线,计算得出等效SiO2厚度为1.4nm.通过高分辨电镜可以...
关键词：高介电常数栅介质材料 脉冲激光淀积 薄膜 
氧离子束辅助激光淀积生长ZnO／Si的XPS探究被引量：3
《材料科学与工艺》2008年第2期255-258,263,共5页李庚伟 吴正龙 邵素珍 刘志凯 
国家高技术研究发展计划资助项目(7150010162);中国地质大学(北京)科技基金资助项目(200524)
为了探究ZnO/Si内部化学成分及有关信息,用氧离子束辅助(O+-assisted)脉冲激光淀积(PLD)法在不同实验条件下生长成ZnO/Si(111)样品.利用X射线光电子能谱(XPS)对长成的ZnO/Si异质结构进行了异位测试.通过对O1s峰及其肩状结构进行拟合、分...
关键词：ZnO/N异质结构 氧离子束辅助PLD X射线光电子能谱(XPS) 
6H-SiC单晶表面ZnO薄膜的制备及其结构表征被引量：1
《无机材料学报》2008年第4期753-757,共5页孙柏 李锐鹏 赵朝阳 徐彭寿 张国斌 潘国强 陈秀芳 徐现刚 
国家自然科学基金(50532070)
利用脉冲激光淀积(PLD)技术在6H-SiC单晶衬底上制备了ZnO薄膜.利用X射线衍射(XRD),反射式高能电子衍射(RHEED)和同步辐射掠入射X射线衍射(SRGID)Φ扫描等实验技术研究了ZnO薄膜的结构.结果表明:在单晶6H-SiC衬底上制备的ZnO薄膜已经达...
关键词：脉冲激光淀积 氧化锌 碳化硅 掠入射X射线衍射 
氧离子束辅助激光淀积生长ZnO/Si薄膜深度剖析被引量：1
《材料科学与工艺》2007年第5期685-688,共4页李庚伟 吴正龙 邵素珍 刘志凯 
国家高技术研究发展计划资助项目(7150010162);中国地质大学(北京)科技基金资助项目(200524).
对于在Si(111)上用氧离子束辅助(O+-assisted)脉冲激光淀积(PLD)生长的ZnO薄膜,用X射线光电子能谱(XPS)深度剖析方法对长成的样品进行了异位测试,分析了导致各峰峰位能移的因素;通过异位与原位XPS谱图的比较,指出O+-assistedPLD法生成的...
关键词：ZnO/Si异质结构 氧离子柬辅助(O^+-assisted)PLD X射线光电子能谱(XPS) 深度剖析 
Mn掺杂对ZnO薄膜结构和光学性质的影响被引量：6
《无机材料学报》2007年第5期911-916,共6页孙柏 赵朝阳 徐彭寿 张国斌 韦世强 
国家自然科学基金(50532070);中科院知识创新工程资助项目
利用脉冲激光淀积的方法在Si衬底上生长出了c轴高度取向的ZnO和Zn_(0.9)Mn_(0.1)O薄膜.光致发光结果显示了Mn的掺杂引起了薄膜的带边发射蓝移,强度减弱,紫光发射几乎消失,但绿光发射增强.利用X射线衍射,X射线吸收精细结构和X射线光电子...
关键词：ZnO 脉冲激光淀积 XAFS XPS 光致发光 
宽波段的类金刚石薄膜光学窗口被引量：3
《强激光与粒子束》2006年第10期1629-1633,共5页白婷 刘晶儒 叶景峰 王晟 叶锡生 
国家863计划项目资助课题
介绍了实用化宽波段光学镀膜窗口的研制过程,研制的光学窗口实现了从可见至远红外波段使用同一光学器件工作的目标,主要波段透过率在70%以上。该产品膜层均匀性优于95%,可以抵抗潮热、温度变化等恶劣环境,可耐受高功率的红外激光辐射,...
关键词：宽波段光学窗口 类金刚石薄膜 脉冲激光淀积 均匀性 
PLD生长的ZnO薄膜的微结构及其发光特性研究被引量：3
《真空科学与技术学报》2006年第6期446-450,共5页孙柏 邹崇文 刘忠良 徐彭寿 张国斌 韦世强 
国家自然科学基金(No.50532070);高等学校博士点专项科研基金资助课题(No.20030358054);中科院知识创新工程资助课题
在不同的衬底温度下,通过脉冲激光淀积(PLD)方法在Si衬底上生长出c轴高度取向的ZnO薄膜。ZnO薄膜的结构分别通过X射线衍射(XRD)和广延X射线吸收精细结构(EXAFS)来表征,而表面成份和化学态则通过X射线光电子能谱来研究。利用光致发光(PL...
关键词：氧化锌 脉冲激光淀积 X射线光电子能谱 广延X射线吸收精细结构 光致发光 
衬底温度对PLD方法生长的ZnO薄膜结构和发光特性的影响被引量：10
《无机材料学报》2006年第4期1005-1010,共6页孙柏 邹崇文 刘忠良 徐彭寿 张国斌 
高等学校博士点专项科研基金(20030358054);国家自然科学基金(50532070);中科院知识创新工程资助项目
在不同的衬底温度下,通过脉冲激光淀积的方法在Si衬底上生长出c轴高度取向的ZnO薄膜．ZnO薄膜的结构和表面形貌通过X射线衍射和原子力显微镜表征．同时以He-Cd激光和同步辐射作为激发源来测试样品的发光特性．实验结果表明,在衬底温度为...
关键词：ZNO 脉冲激光淀积 光致发光 同步辐射 
通用工艺与设备
《电子科技文摘》2005年第11期27-33,共7页
关键词：通用工艺 纳米压印 微细加工技术 刻蚀技术 轮胎花纹 天津工业大学 数控工作台 电子束光刻 激光淀积 implanted 
铁电薄膜Bi_(3.2)Nd_(0.8)Ti_3O_(12)的制备及其特性的研究
《压电与声光》2005年第5期523-525,共3页王宁章 李兴教 
广西大学基金资助项目(X002081);武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室基金资助项目
用脉冲激光淀积法成功地在p-S i底片上制备了高c轴取向的B i3.20N d0.80T i3O12铁电薄膜,研究了薄膜的铁电性能及疲劳特性。研究表明,用钕N d替代B i的B i3.20N d0.80T i3O12薄膜具有较好电滞回线(P-E),在应用电压为10 V,测试频率为1MH ...
关键词：铁电薄膜 Bi3.2Nd0.8Ti3O12 剩余极化 脉冲激光淀积 
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