刘志凯

作品数：40被引量：57H指数：3
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发文主题：低能离子束离子束外延超高真空生长温度低能离子更多>>
发文领域：电子电信理学一般工业技术电气工程更多>>
发文期刊：《功能材料》《稀有金属》《物理学报》《材料科学与工艺》更多>>
所获基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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氧离子束辅助激光淀积生长ZnO／Si的XPS探究被引量：3
《材料科学与工艺》2008年第2期255-258,263,共5页李庚伟 吴正龙 邵素珍 刘志凯 
国家高技术研究发展计划资助项目(7150010162);中国地质大学(北京)科技基金资助项目(200524)
为了探究ZnO/Si内部化学成分及有关信息,用氧离子束辅助(O+-assisted)脉冲激光淀积(PLD)法在不同实验条件下生长成ZnO/Si(111)样品.利用X射线光电子能谱(XPS)对长成的ZnO/Si异质结构进行了异位测试.通过对O1s峰及其肩状结构进行拟合、分...
关键词：ZnO/N异质结构 氧离子束辅助PLD X射线光电子能谱(XPS) 
氧离子束辅助激光淀积生长ZnO/Si薄膜深度剖析被引量：1
《材料科学与工艺》2007年第5期685-688,共4页李庚伟 吴正龙 邵素珍 刘志凯 
国家高技术研究发展计划资助项目(7150010162);中国地质大学(北京)科技基金资助项目(200524).
对于在Si(111)上用氧离子束辅助(O+-assisted)脉冲激光淀积(PLD)生长的ZnO薄膜,用X射线光电子能谱(XPS)深度剖析方法对长成的样品进行了异位测试,分析了导致各峰峰位能移的因素;通过异位与原位XPS谱图的比较,指出O+-assistedPLD法生成的...
关键词：ZnO/Si异质结构 氧离子柬辅助(O^+-assisted)PLD X射线光电子能谱(XPS) 深度剖析 
氧离子束辅助PLD法生长ZnO/Si的XPS研究被引量：2
《渤海大学学报（自然科学版）》2007年第1期24-27,共4页李庚伟 吴正龙 刘志凯 
国家"八六三"计划资项目(NO:863-715-001)-0162;中国地质大学(北京)科技基金资助项目(NO:200524)
利用X射线光电子能谱(XPS)深度剖析方法对ZnO/Si异质结构同一典型样品的不同部位进行了分析。讨论了同时刻(厚度)样品的生长情况及所说明的问题。提出要使样品生长得更理想,应做到使DIBD系统连续工作。
关键词：ZnO/Si异质结构 X射线光电子能谱(XPS) 氧离子束辅助(O^+-assisted)PLD 
低能碳离子束沉积(111)织构的立方SiC薄膜
《Journal of Semiconductors》2005年第12期2385-2389,共5页杨霏 陈诺夫 张兴旺 杨少延 刘志凯 柴春林 侯哲哲 马辉 尹志刚 
国家自然科学基金(批准号:60176001;60390072);国家重大基础研究发展规划(批准号:2002CB311905;G20000365)资助项目~~
在硅衬底上利用具有质量选择功能的低能离子束沉积技术沉积碳离子制备出除碳、硅之外无其他杂质元素的纯净的立方SiC薄膜.利用X射线光电子谱、俄歇电子能谱、X射线衍射对样品进行了表征.结果显示常温和400℃制备的样品为非晶结构,在800...
关键词：3C-SIC 离子束沉积 (111)织构 低能量 扩散 通道效应 
室温铁磁性Al_2O_3∶Mn的制备及性质
《Journal of Semiconductors》2005年第12期2390-2395,共6页张富强 陈诺夫 杨瑞霞 魏怀鹏 刘祥林 刘志凯 杨少延 柴春林 
以Al2O3为衬底利用多能态离子注入法在离子注入设备上制备了一系列具有室温铁磁性的Al2O3∶Mn样品.在Al2O3的X射线衍射峰附近发现新的衍射峰,该衍射峰既可能对应一种未知新相,也可能对应Al2O3∶Mn固溶体.所有样品都具有磁滞现象和室温...
关键词：铁磁性 X射线衍射 离子注入法 
稀土功能薄膜的离子束外延法制备生长研究被引量：3
《中国稀土学报》2005年第5期576-581,共6页杨少延 柴春林 周剑平 刘志凯 陈涌海 陈诺夫 王占国 
国家自然科学基金(60206007);国家重点基础研究973计划(G2000068305;G2000036505;2002CB311905)
介绍了一种利用离子束外延(Ion-beam Epitaxy,IBE)技术制备生长高纯稀土功能薄膜的新方法。以纯度要求不高的低成本稀土氯化物为原材料来产生大束流稀土元素离子,通过准确控制双束合成或单束浅结注入掺杂的同位素纯低能离子的能量、束...
关键词：稀土功能薄膜 IBE 高纯生长 低温外延 
低能离子束方法制备Mn-Si薄膜
《Journal of Semiconductors》2005年第z1期94-97,共4页刘力锋 陈诺夫 柴春林 杨少延 刘志凯 
国家自然科学基金(批准号:60176001和60390072),国家重大基础研究发展计划(批准号:G20000365和G2002CB311905)资助项目
采用低能离子束技术,获得了Mn组分渐变的Mn-Si薄膜.利用俄歇电子能谱法分析了样品的组分特性,X射线衍射法和原子力显微镜法分析了样品的结构和形貌特性.测试结果表明,300℃下制备的样品Mn离子的注入深度要比室温下制备的样品深.室温下...
关键词：低能离子束 硅 锰 X射线衍射 
离子束能量和衬底温度对氧化钆结构的影响
《Journal of Semiconductors》2005年第z1期57-60,共4页周剑平 柴春林 杨少延 刘志凯 宋书林 李艳丽 陈诺夫 林元华 
国家重点基础研究发展规划(批准号:G20000365,G2002CB31905)和国家高技术研究发展计划(批准号:2003AA302120)资助项目
利用双离子束沉积技术,在Si(100)衬底上制备了氧化钆薄膜.离子束能量在100～500eV范围内,衬底温度较低时薄膜为(402)择优取向的单斜结构,随着衬底温度的增加,择优取向转为(202)方向.当衬底温度是700℃时,出现了立方结构,这是由于离子束...
关键词：离子束沉积 晶体结构 XPS 
磁控溅射法生长CeO2/Si薄膜及其发光性质
《Journal of Semiconductors》2005年第z1期61-64,共4页柴春林 杨少延 刘志凯 陈诺夫 
国家重点基础研究发展计划(批准号:G2000036505)和国家自然科学基金(批准号:60206007)资助项目
利用反应磁控溅射法对CeO2薄膜的生长规律进行了研究.通过实验发现,溅射时氧气和氩气的比例对薄膜的成分和晶体质量有很大影响.在室温下测试了CeO2薄膜的PL谱,结果表明CeO2薄膜的发光主要来自于氧缺陷.
关键词：磁控溅射 CeO2薄膜 发光 
氧离子束辅助激光淀积生长ZnO/Si的研究被引量：5
《材料导报》2005年第2期109-111,共3页李庚伟 吴正龙 邵素珍 张建辉 刘志凯 
国家"863"计划资助项目(863-715-001-0162)
利用 X 射线衍射(XRD),X 射线摇摆曲线(XRC)和 X 射线光电子能谱(XPS)分析方法对氧离子束辅助激光淀积生长的 ZnO/Si 异质结薄膜进行了分析。结果表明:用该法可生长出高度 c 轴单一取向 ZnO 薄膜,XRC 的半高宽度(FWHM)仅为2.918°。表...
关键词：ZnO/Si 氧离子束辅助激光淀积生长 异质结薄膜 X射线摇摆曲线 X射线光电子能谱 
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