白婷

作品数：3被引量：21H指数：3
导出分析报告
供职机构：西北核技术研究所更多>>
发文主题：类金刚石薄膜非晶硅薄膜脉冲激光淀积脉冲准分子激光更多>>
发文领域：电子电信理学更多>>
发文期刊：《光子学报》《中国激光》《强激光与粒子束》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-3
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
光溅射镀膜均匀性的优化模拟被引量：4
《光子学报》2010年第9期1543-1546,共4页王晟 叶景峰 刘晶儒 白婷 叶锡生 王立君 
国家高技术研究发展计划804主题军口资助
为了改善脉冲激光溅射沉积大面积薄膜的均匀性,发展了基片离轴旋转的扫描技术.根据基片离轴旋转的基本原理和等离子体羽空间余弦分布规律,建立了径向膜厚分布公式.数值模拟了各种因素对基片离轴旋转扫描沉积薄膜均匀性的影响.分析表明,...
关键词：薄膜 基片离轴旋转扫描 均匀性 脉冲激光镀膜 
利用脉冲准分子激光在ZnS上沉积类金刚石薄膜被引量：4
《中国激光》2007年第7期992-997,共6页白婷 叶景峰 刘晶儒 王晟 叶锡生 王立君 
国家863计划(863-804)资助项目
利用氟化氪（KrF）脉冲准分子激光烧蚀沉积（PLD）技术，通过对激光等离子体的粒子成分以及空间分布的诊断，实现了等离子体成分的选择性沉积。在不降低光谱范围和透过率指标的前提下，解决了类金刚石（DLC）薄膜和硫化锌（ZnS）基底的...
关键词：薄膜 类金刚石薄膜 脉冲准分子激光沉积 
脉冲准分子激光淀积薄膜的实验研究被引量：14
《强激光与粒子束》2002年第5期646-650,共5页刘晶儒 白婷 姚东升 李铁军 王丽戈 袁孝 王晟 叶锡生 
国家 8 63 80 4主题资助项目
利用两种脉宽 (30ns,5 0 0fs)的KrF准分子激光展开了淀积类金刚石薄膜的实验研究 ,并且成功地制备了大面积不含氢成分的HF DLC薄膜 ,运用时空分辨的等离子体发射光谱诊断系统和离子探针系统研究了等离子体特性对薄膜性能的影响。尝试了...
关键词：准分子激光 实验研究 脉冲激光淀积 类金刚石薄膜 非晶硅薄膜 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部