预对准机与机械手相对坐标系标定  

Relative Coordinate System Calibration of Wafer Pre-Aligner and Wafer Transfer Robot

作　　者：李学威[1] 冯亚磊[1] 张鹏[1] 栾显晔 张金果[1] 

机构地区：[1]沈阳新松机器人自动化股份有限公司,辽宁沈阳110168

出　　处：《机械设计与制造》2013年第7期185-187,共3页Machinery Design & Manufacture

基　　金：国家科技重大专项/IC装备机械手及硅片传输系统系列产品研发与产业化(2009ZX02012)

摘　　要：在对预对准机建模仿真的基础上,根据晶圆预对准的误差精度分析结果,利用误差转化的方法将预对准机自身误差转化成预对准机与机械手相对坐标系误差,从而实现预对准机自身与相对坐标系的综合标定。针对预对准机与机械手相对坐标系的标定提出了多种方法,并选取了适用于实际情况的方法进行了标定实验,验证了方法的有效性。这种综合标定方法弥补了现有实验条件的不足,避免了对不易标定参数的直接标定,简化了标定过程,提高了设备初始安装与调试的效率。According to the error analysis result,it transfers the error of pre-aligner into the error of the coordinate relationship between pre-aligner and the robot using error transformation method.With the method,it achieves calibration of both errors in one process simultaneously.Then,different calibration methods are designed.Finally,it carries out experiment to prove the validity of the selected calibration methods.This calibration method overcomes experiment difficulties,avoids directly calibrating the parameters,simplifies calibration progress and improves the efficiency of device installing and testing.

关 键 词：晶圆预对准机 晶圆传输机器人 建模仿真 标定方法 相对坐标系 误差补偿 

分 类 号：TH16[机械工程—机械制造及自动化]