SOI──21世纪的硅集成电路技术  

作　　者：张苗 

机构地区：[1]中科院上海冶金所信息功能材料国家重点实验室

出　　处：《世界科学》2001年第1期28-29,共2页World Science

关 键 词：SOI 硅集成电路 材料制备 注氧隔离技术 智能剥离技术 应用 

分 类 号：TN4[电子电信—微电子学与固体电子学]