微型机电系统与微细加工技术  

作　　者：张晓征[1] 迟向磊[2] 

机构地区：[1]清华大学100084 [2]北京市机电研究院100027

出　　处：《北京机电通讯》2000年第27期35-38,共4页

摘　　要：本文介绍了一个新兴的机械电子研究和应用领域－微型机电系统的产生、发展和应用前景，这种机电系统有着传统机电系统不能比拟的特点和优势，例如经济、制造快速等。本文列举了几个常见的微型机电系统和它们的应用举例。与微型机电系统密切相关的微细加工技术在本文中有详细的介绍，以硅加工和LIGA技术为例，本文比较了微细加工技术之间的特点和各自的应用范围，最后说明微型机电系统有广阔的发展前途。

关 键 词：微型机电系统 微机械 微细加工 

分 类 号：TH－39[机械工程]